trichlorosilane（相关硕士博士期刊学术论文

对四氯化硅固定床加氢工艺进行了研究,考察了反应温度、压力、n（氢气）/n（四氯化硅）、m（催化剂）/m（硅）等因素对四氯化硅转化率的影响。该工......